研究テーマ

21 世紀のプラズマ科学のニューフロンティア−超微小空間(マイクロ/ナノスペース)における新しいプラズマ材料科学の創成を目指しています。現在の主要テーマは以下の通りです。

  1. 超微細加工技術、ピエゾアクチュエーター技術を用いた、超微小空間プラズマの発生、および、物性測定。
  2. プラズマエヴァネッセント分光法、および、プラズマ環境 STM によるプラズマ−固体界面研究への応用。
  3. 超臨界流体(クラスター流体)プラズマの生成、物性、および、環境調和型グリーン材料プロセスへの応用。
  4. 高集積プラズマプロセスデバイス(プラズマチップ)の作製とそのマイクロコンビナトリアル材料プロセスへの応用。
  5. 極低温マイクロプラズマ装置の開発とそのバイオナノマテリアルプロセスへの応用。
  6. マイクロプラズマ CVD によるナノダイヤモンド合成。
  7. ナノプラズマ電子顕微鏡の開発とその DNA バイオ材料デバイス創成への応用。